当下神情就变得有些担忧的模样,“唉,是啊,要绕过专利有点难,”他思考了一下,为难道,“其实我对这方面挺感兴趣,也就不拒绝潘教授的邀请了,就当做是拓宽知识面好了。”
两个人各怀鬼胎,在吃了一顿烧烤之后也「老宋」「老潘」的叫起来,那样式曹能能看到了都要感觉自己的狗腿位置不保。
这顿烧烤之后,大家的关系肉眼可见的融洽了许多,平常各顾各组队吃饭的,现在也可以互相打招呼了。
光刻胶的报告很快就送回来了,应富华亲自过来勉励了几句。
他们虽然提前完成了任务,但是还不能回去。
任务没有攻克,他们都要留在这里。
工作还是要继续安排。
也许其他光刻胶也有好东西产出呢?
宋问声让曹能能和吴勇他们的研究继续。
富勒烯衍生物小组这边,宋问声对他们的工作进行了安排,需要他们继续更深入的研发。
研发人员微愣,“现在已经5-10nm了,那再下一步是不是3-5nm了?”
宋问声轻笑,目光坚定,“既然能做,我们就要在做到最好!也许我们还能突破到1-3呢?”
研究人员默了,都没有反应过来,宋问声最后一句话是唬他们的。
现在还没有1-3nm制程的光刻机呢!
作者有话说:
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第174章 大胆设想
虽然宋问声是唬他们的, 但是也成功激起了研究人员的热血。
提前了他们实验应该怎么继续下去之后,宋问声就往老潘实验室那边去了。
那边的实验室有很多真空操作设备,精度很高的光学镜片,表面所有的坑洼都会控制在一个非常小的范围之内, 甚至不允许有任何一粒灰尘的存在。
即便能够打磨出这样的镜片, 还需要强大的工业测量技术作为支撑。
这些都是我们国家现在所不具备的。
要实现上面的要求, 工程量是很大的,难度甚至不亚于两弹工程和登月工程。
他一过来, 老潘就有些兴奋的和大家介绍,“这是宋问声宋院士,我邀请他过来咱们这里参观指导,你们做自己的。”
大家好奇的眼神在宋问声身上转了一圈, 又回去做自己的事情了。
光刻机绝对不是一个小东西,DUA光刻机的透镜系统镜片就有四十来块, 叠加组合在一起,都有人这么高,更不用说精度更加大的深紫外光刻机。
老潘带他把光学镜头小组都参观过了一遍,还把隔壁的给介绍了一下。
这一个大组是照明系统大组,里面分光学镜头, 工作台系统等等。
光是光学镜头里又分大大小小的镜片,比如物镜等等。
现在的镜片材料大部分都是用石英材料, 并且光源和镜片之间的联系紧密,光源长时间照射会影响光学材料的性能, 光学材料的性能又会制约工作波长的选择。
所以二者之间能选择的余地很小。
现在也很难提出什么新的光学材料, 这么紧的工期, 基本上没有什么时间要验证。
所以只能在原来的基础上加以改进。
宋问声想了很久, 也想不到自己在光学镜片上能够帮助什么, 只是看了一些数据,提出了一些建议,建议他们和光刻胶小组合作一下,会有奇效。
其实光源的工作波长,不只是受到光学材料的制约,还有光刻胶,宋问声研发的光刻胶路子很野,和其他的不一样。
可以在193nm的深紫外光下使用,也可以在13.5nm的极紫外光下使用。
而且这款光刻胶还有很多功能急待开发,它的自由性很大,就和碳的四条键一样,可以有无穷的变换。
宋问声在光学镜片这里用不上劲,但是他观察之后发现,他在光源上可以有所改进。
只要光源和光刻胶选择的余地多了,那么光学材料选择的余地是不是多了?
整个下午,宋问声拿着一大沓厚厚的草稿和老潘比划。
老潘听着确实像那么一回事。
他们这些配合研发的,多多少少对需要配合的地方有些了解,看宋问声写出的公式和理论,老潘忽然间觉得,应该就是这样的!
看着宋问声认真的模样,老潘还觉得有些对不起这小老弟,之前还想骗人家过来指点指点,现在看人家是真认真。
“老宋,我觉得是有几分可行的,我对光源这方面也不算专业,要不然我和应工说一声,你今晚准备详细一点的资料,明天我估计应工会来问你。”
宋问声收拾一下,点了点头。
他的房间是单人间,而且不算特别小,里面放置了只能上内部网的电脑,甚至还有一些娱乐设备,不过一般宋问声都不会用,他最多去的还是被安置了光源的一个小桌子上,去给这段时间养的仙人掌浇浇水。
一般的院士享有副部级待遇,因为宋问声的特殊性,他的待遇远超部级。
看着电脑上密密麻麻的字还有演算公式,他呼出一口气,开始整理。
牵一发而动全身,他要改动光源,那么势必会对光刻机的整体造成影响。
他也只能重光源,而轻其他。
一晚上,绝对不可能把光刻机的全部整理完毕,而宋问声也不是那种全能到变、态的全才。
如果让他弄控制软件,他绝对是不行的,他的编程技术是有的,可是基地里的都是顶级人才,以往开发65或者45nm的光刻机,他们也很有经验了的。
所以他只能尽自己的力量,来描绘出他心中的蓝图。
他在努力,谢冠也在努力,在经过最后的确认之后,他把一篇数学论文投刊至《数学新进展》。
投刊之后,他没有马上回家,而是坐在椅子上,闭上眼睛,他正在操控系统看着宋问声那边。
宋问声正在专心的做着一份资料,偶尔遇到难得的时候,他也会停下来思考,但是因为之前做过腹稿,又在和老潘的谈话当中捋过一遍思路,总体来说还算是通畅。
谢冠没有打扰他,只是静静的看着他。
宋问声没有感觉到有人在窥视他,等他忙碌完毕已经是凌晨两点多了,他赶紧收拾了一下,抓紧时间睡觉。
……
老潘真的是看在宋问声劳心劳力的份上,去和应富华说了,还把宋问声的草稿带给应富华看了。
应富华也认认真真的看了。
一般这种由上头组织的攻克小组,内部的等级是很森严的,绝对不会出现跨行指导的情况,每一位都是在这个领域里最资深的专家,跨行说不定给不出比原来的专家更好的意见,还耽误了自己的工作。
可是宋问声是一个彻彻底底的怪才。
才四十多天就已经完成了任务,本身也是跨行的专家。
他相信宋问声也是绝对不会拿这件事情开玩笑的,这个年轻人很有些老一辈的那种做科研的韧劲和做事认真的态度。
所以应富华并没有敷衍老潘,而是在老潘的介绍之下,认认真真的看起了这些草稿。
越看他越觉得宋问声的才华真是让人惊叹!
现在的极紫外光源使用的是等离子体激光器,这个技术被美国的Cymer所垄断,后来这家公司被ASML收购,减少了ASML在这方面攀登的路程。
而宋问声在这里提出来了一个新的等离子激光体系:
金属银薄膜-绝缘材料-半导体纳米材料(1);
这是一种极其新颖的复合材料,外表由亚波长金属薄膜包裹,里面则是半导体纳米线和空气间隙。
在宋问声的设想当中,这种材料应该是可对谐振腔模式产生影响,改善激光光谱,增强光源。
在纳米材料方面没有人比宋问声更玩得通了。
而且不只是光源,还有整个激光系统的设计,都是十分有意思。
宋问声设计得非常大胆,如果这种材料真的如同他的设想那样有着出众的性质,那么应用在这个设计上就是刚刚好,甚至是相互成就。
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